本标准规定了离子束蚀刻机的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。
本 标准适用于物理溅射腐蚀作用的通用离子束蚀刻机。其他专用离子束蚀刻机亦可参照执行。
离子束蚀刻机通用规范核电专用机械用炭油水气多相测量装置辊式板材矫正机 技术规范露天矿用履带式单臂堆料机饲料粉碎系统用袋式除尘器巷道堆垛机 术语变频调速磁悬浮三相永磁同步电动机
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