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半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

标 准 号： GB/T 42271-2022
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 北京天科合达半导体股份有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期： 2022-12-30
实施日期： 2023-04-01
点 击 数：
更新日期： 2023年02月19日
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内容摘要

本文件描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。
本文件适用于测量电阻率范围为 1×10 5 Ω·cm～1×1012Ω·cm的半绝缘碳化硅单晶片。

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