本标准规定了X射线光电子能谱仪信背比、分辨力、短期电压稳定性、传输特性及能量坐标线性等工作特性的检查过程。本标准适用于能量通道为数字计数存储的谱仪。本标准旨在对仪器制造厂商提出的校准步骤进行补充。不能作为不同仪器之间进行性能比较的依据，只能作为某一谱仪工作特性的自治性检查。使用本标准可能涉及有害的操作、设备及物质。但本标准没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本标准前，应该制定适当的安全与保健措施，并决定本标准的应用范围。