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半导体晶片近边缘几何形态评价 第1部分：高度径向二阶导数法（ZDD）

标 准 号： GB/T 43894.1-2024
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 山东有研半导体材料有限公司、浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
发布日期： 2024-04-25
实施日期： 2024-11-01
点 击 数：
更新日期： 2024年06月05日
下载地址：点击这里 491.28KB
下载点数：30点（VIP会员免费）
内容摘要

本文件描述了一系列高度径向二阶导数法(ZDD)评价半导体晶片的近边缘几何形态的方法。


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