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半导体材料术语

标 准 号： GB/T 14264-2024
替代情况： 替代 GB/T 14264-2009
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 有研半导体硅材料股份公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司
发布日期： 2024-04-25
实施日期： 2024-11-01
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更新日期： 2024年06月04日
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内容摘要

本文件适用于半导体材料的研发、生产、制备及相关领域.


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