本文件规定了使用气相色谱质谱联用法测定甲基氯硅烷中乙基二氯硅烷的方法。
本文件适用于以硅粉和一氯甲烷为原料、在铜催化剂的作用下反应得到甲基氯硅烷（包括甲基氯硅烷粗单体、二甲基二氯硅烷等）中乙基二氯硅烷含量0.5mg/kg至1000mg/kg。
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