本文件界定了电子探针显微分析（EPMA)实践中使用的术语，包括一般概念的术语和按仪器、分析方法分类的特定概念的术语。本文件适用于相关领域(SEM、AEM、EDX等)的所有标准和实践文件中通用术语的定义。
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