本标准规定了俄歇电子谱仪动能标不确定度为3eV 时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,还规定一种用于确定校准周期的方法。本标准适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于等于0.5%,微分模式调制幅度的峰峰值为2eV。
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