半导体工亚是技术较为先进的高新技术产业, 但在生产过释中产生的污染问题, 同样不能被忽略, 其中、工艺庆气污染问题是特别值得关注的。本文针对半导体芯片制透业产生叻工艺废气的污染洽理及风险防范进行了研究。